中國(guó)科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所工程師唐國(guó)強(qiáng)等人在以上背景下,發(fā)明了一種使用二次離子質(zhì)譜儀同時(shí)分析非金屬元素和金屬元素的系統(tǒng)和方法,并于近日獲得國(guó)家發(fā)明專利授權(quán)(發(fā)明名稱:使用二次離子質(zhì)譜儀同時(shí)分析非金屬元素和金屬元素的系統(tǒng)和方法;發(fā)明人:唐國(guó)強(qiáng),趙洪;專利號(hào):ZL 2013 1 0654614.7)。
該發(fā)明使用SIMS分析二次離子,用SNMS對(duì)中性粒子分析,可以在線獲得樣品中更多的信息,保留了微區(qū)分析的特點(diǎn),沒有基體效應(yīng)。其特點(diǎn)有:分隔的真空腔體有利于濺射中性粒子的收集和離子化;中性粒子的離子化可以使用電子轟擊、熱電離、激光共振等成熟的離子化技術(shù);質(zhì)量分析器可以使用小型的四極桿或者飛行時(shí)間質(zhì)量分析器,基于電場(chǎng)的獨(dú)立小型質(zhì)量分析器有利于減小儀器體積和縮短分析時(shí)間。
該發(fā)明將SIMS和SNMS兩種技術(shù)結(jié)合起來應(yīng)用在IMS1280型SIMS上,能夠同時(shí)分析樣品中的金屬元素和非金屬元素,具有很大的進(jìn)步意義。